Sasaki Hirokazu, Ubuhashi Jun, Matsuda Takezen, Okubo Tadakatsu

요약

화합물 반도체에서 도펀트 및 구리 합금의 침전 된 상 및 구리 합금의 분석은 3D 원자 프로브를 사용하여 수행되었다 반도체 분석 에서이 방법을 사용하면 나노 스케일에서 도펀트 분포를 시각화 할 수 있습니다 또한, 구리 합금의 분석에서, 여러 나노 미터의 침전 된 단계의 형태, 크기 및 조성은 3 차원으로 분석 될 수있다

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