Iwai Norihiro, Mukaihara Tomoichi, Ito Mitsumasa, Yamanaka Nobumitsu, Arakawa Tomoshi, Shimizu Hitoshi, Kasukawa Akihiko
요약
광학적 상호 연결과 같은 광원에 사용되는 광원에 사용되는 레이저 어레이 요소의 비용을 줄이기위한 목적으로, 우리는 P- 타입 기판에 알리 나스 층을 사용하여 구속 구조를 갖는 첫 번째 (ACI) 레이저를 제작했습니다 먼저, 우리는 Acis 레이저의 제조에 중요한 Alinas 층의 산화 조건을 조사했습니다 결과적으로, 산화 온도는 500 ℃이고, 알리 나스 층의 두께는 100 nm이고, Al 조성물은 048 인 것으로 밝혀졌다 또한,이 기술을 적용함으로써, ACIS 레이저는 실제로 P- 타입 기판에 제작되었으며, 결과적으로 40mA의 임계 값 전류의 양호한 초기 특성과 06 W/A의 기울기 효율이 얻어졌다 또한, 장기 신뢰성 검사에서, 최대 10,000 시간 동안 안정적인 작동이 확인되었다 또한, 22 채널 레이저 어레이 요소가 제조되었고, 398mA의 임계 전류, 표준 편차는 042mA로 우수한 균일 성을 얻었다 이 결과는 Acis 레이저가 광학 상호 연결의 광원으로 유망하다는 것을 나타냅니다
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